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哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L ?

數量(臺) 價格
100 34582.00元/臺
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  • 發貨地址: 上海 嘉定區
  • 發布日期:2024-04-16
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上海浜田實業有限公司

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詳細參數
品牌HarmonicDrive型號LA-30B-10-F-L,
類型無級減速器載荷狀態中等沖擊載荷
傳動比級數雙級軸的相對位置臥式減速器
傳動布置形式擺線式加工定制
樣品或現貨現貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環式用途減速機
輸入轉速3000rpm額定功率360kw
輸出轉速范圍47.6rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比99
產地日本

產品詳情

日本哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L


CMP的主要工藝參數有:拋光時間、磨頭向下壓力、轉盤速度、哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L 磨頭速度、磨料化學成分、磨料流速、拋光墊修整、硅片/磨料溫度、硅片背壓。

CMP工作過程的一個重要工藝步驟是終點檢測哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L ,通常使用兩種方法,一是電機電流終點檢測,在拋光時硅片上不同材料的摩擦特性不一致,那么磨頭電機感受到的阻力會有不同變化,電機電流也會相應發生變化。通過檢測電機電流變化判斷拋光過程是否進入不同材料層,從而判斷是否到達拋光終點。二是光學終點檢測,哈默納科精密磨料諧波LA-30B-10-F-L 該技術是基于光的反射系數,在反射光譜學中,光從膜層上反射的不同角度與膜層材料和厚度有關。

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