產品詳情
關鍵詞：晶化退火爐 晶化退火設備 晶化快速退火爐
嘉儀通晶化快速退火爐RTP-3-01系列采用紅外輻射加熱技術，可實現1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫，同時搭配超高精度溫度控制系統，可達到好的溫場均勻性，對薄膜材料進行晶化快速退火處理，提高薄膜材料的均勻性及穩定性。
晶化快速退火爐產品特點：
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s，特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率，特定條件下可達30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業級溫控器進行PID精確控溫，目標溫度與設定溫度曲線一致性高，可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮氣、氬氣等）。同時，通過選配真空泵，可以在真空條件下進行退火，真空度可達10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過觀察窗口，可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時，可以結合相關測試方法進行原位測試分析。
安全系數高: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統，多方位保障儀器使用安全。
國產退火爐：擁有自主研發技術和制造能力，能快速反應客戶售后需求。
晶化快速退火爐技術參數：
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型號 |
RTP-3-01系列 |
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溫度 |
1200℃ |
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升溫速率 |
50℃/s |
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溫度均勻性 |
≦1%設定溫度 |
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溫度控制 |
選用工業級溫控器，控溫精度±0.1℃ |
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溫度傳感器 |
標準K型熱電偶 |
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降溫速率 |
1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷卻） |
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樣品尺寸 |
W20 x L20 x T2 (mm) |
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主機尺寸 |
W420X L320X H220 (mm) |
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主機重量 |
20.5kg |
晶化快速退火爐客戶案例：
清華使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火，得到晶相一致晶粒較小的晶體，提高薄膜材料的均勻性及穩定性。
