產品詳情
二手日本光馳OTFC-1300光度鍍膜機 光學蒸發鍍膜機適合AR AF膜
聯系:韋小姐 17687705997
工件架:Ф1400
工件架轉速:10rpm to30rpn(可變)
光學膜厚控制:HOM2--R-VIS350A
光學膜厚監控儀:
波長范圍:350nm to1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚計:XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發源:2套日本電子16P雙搶
離子源:23寸光馳RF離子源
排氣系統:機械泵2個,擴散泵Polycold(或2個冷凝泵)275機械泵+愛德華配套羅茨泵
性能
達到壓力:7.0x10-5Pa以下
排氣時間:20分(大氣壓~1.3X10-3Pa)
基板溫度:350C
工作條件
設備尺寸:藥500n00)x7200n(D)X53700nn
電源:3相 200v 50/60Hz 約120KVA
水流量:180升/分以上
空氣壓力:0.5MPa以上
重量:約11000kg