測量范圍

from 1 to 100amu (200/300可選)

真空法蘭

CF35

可配置入口腔體和對接波紋管

輔熱（選配）

200/350℃輔熱

質譜儀

PGA  F1

PGA F2

PGA F3

PGA M1

PGA M2

PGA M3

檢測器

Faraday (F)

C-SEM/Faraday (M)

質量范圍

1– 100 u

1– 200 u

1– 300 u

1– 100 u

1– 200 u

1– 300 u

四極桿 直徑/長度

6 mm / 125 mm

最小可檢測分壓, Faraday3)                                            4 · 10- 13  hPa

5 · 10- 13 hPa

7 · 10- 13 hPa

最小可檢測分壓, C-SEM3)4)                                                           –

–

–

3 · 10- 15 hPa

4 · 10- 15 hPa

5 · 10- 15 hPa

Ar 靈敏度, Faraday5)                                                             5 · 10-4 A/hPa

4 · 10-4 A/hPa

3 · 10-4 A/hPa

5 · 10-4 A/hPa

4 · 10-4 A/hPa

3 · 10-4 A/hPa

最大操作壓力, Faraday operation

5 · 10-4 hPa

最大操作壓力, C-SEM operation                –

–

–

5 · 10-5 hPa

5 · 10-5 hPa

5 · 10-5 hPa

相鄰質量干擾 (40/41)                 < 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

最大工作溫度, 分析單元                                     200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

工作溫度,   electronics

5 – 50 °C

烘烤溫度,  analyzer

300 °C

對接法蘭

DN 40 CF-F

分辨率在10 %峰高處

0.5 – 2.5 u

掃描速度

1 ms – 16 s/u

峰值比重現性

± 0.5 %

通訊接口

Ethernet

供電

100–240 V AC, 50/60 Hz

PGA

全重

6 - 12 kg

尺寸

550*210*270（L*W*H）

分子泵（選配）

67 L/s (N2)