產品詳情
氦氣檢漏儀
品牌:德國Inficon
型號:UL1000Fab
Infincon UL 1000 Fab氦氣撿漏儀是工業或半導體環境中經濟型氦氣真空檢漏的著名標準。通過儀器的干泵技術,可以消除被測試部件或設備受到碳氫化合物或顆粒的潛在污染。UL1000 Fab在高性能、高穩健性和可負擔性之間提供了折中。
優勢:
通過快速泵降和響應時間,最大限度地減少泄漏測試工作;通過使用可選擇的背景抑制來避免需要多次泄漏測試;通過可操作的設計,可以輕松進入空間有限的維修區域;低總擁有成本(TCO)由強大的兩個熱絲離子源和逆流真空系統實現;易于使用,可旋轉顯示,光學和聽覺泄漏指示,和可選的遙控器;通過內置測試泄漏與自動校準程序實現低維護。
典型應用:
對潔凈度要求較高的工業真空設備制造;在將組件或組件安裝在現有工具中之前對其進行真空處理;真空工具的維護工作,有或沒有自己的泵的支持;過程氣體系統的檢查和安裝;半導體、平板顯示器或太陽能電池制造。
技術參數:
最小檢測的泄漏率(真空模式):<5×10-12 mbar·I/S
最小檢測的泄漏率(嗅探器模式):<5×10-8 mbar·I/S
最大進口壓力;15 mbar
疏散時的抽速:25m3/h
氦在入口出的抽速(ULTRA模式):2.5l/s
可檢測的質量(ULTRATEST傳感器技術):2, 3, 4(H2, 3He, He)
供應電壓:100-120 V;220-240 V
重量:110kg
尺寸(含把手):1068*525*850mm(42*21*33)