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哈默納科定位掃描諧波CSF-11-50-2A-R

數量(臺) 價格
100 34580.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發貨地址： 上海 嘉定區
  • 發布日期：2024-04-16
  • 訪問量：854
咨詢電話：131-6286-1726
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第14年

上海浜田實業有限公司

實名認證 企業認證
  • 企業地址：上海市嘉定區愛特路877號歆翱國際商務園D幢510室
  • 營業執照：已審核營業執照
  • 經營模式： 代理商-私營有限責任公司
  • 所在地區：上海 嘉定區
  • 家家通積分：16061分
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詳細參數
品牌HarmonicDrive型號CSF-11-50-2A-R
類型諧波減速器載荷狀態強沖擊載荷
傳動比級數單級軸的相對位置臥式減速器
傳動布置形式同軸式加工定制否
樣品或現貨現貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環式用途變速機
輸入轉速3000rpm額定功率111kw
輸出轉速范圍47.6rpm許用扭矩10N.m
使用范圍礦產減速比466
產地日本

產品詳情

（1） 加速管。為了獲得更高的能量（也就是運動速度），哈默納科定位掃描諧波CSF-11-50-2A-R正離子還需要在加速管中的電場下進行加速。

（2） 掃描系統。注入機離子束斑約1~3cm2，需要通過掃描覆蓋整個硅片。可以通過固定硅片，移動束斑，或者相反操作進行掃描。掃描系統有靜電掃描、機械掃描、混合掃描和平行掃描。

（3） 工藝腔。離子束注入在工藝腔中進行。哈默納科定位掃描諧波CSF-11-50-2A-R一般工藝腔包括掃描系統、硅片裝卸終端臺、硅片傳輸系統、檢測系統，以及控制溝道效應的裝置。

離子注入參數主要有劑量和射程。劑量是單位面積硅片注入的離子數，單位是原子每平方厘米（或離子每平方厘米）。射程是離子注入過程中，離子穿入硅片的總距離。注入機的能量越高，哈默納科定位掃描諧波CSF-11-50-2A-R則雜質原子穿入硅片深度越大。

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