產品詳情
半導體設備頻繁停機？普旭真空泵20000小時無故障運行實錄
應用場景
在半導體制造的核心環節（如晶圓蝕刻、離子注入、化學機械拋光（CMP））中，真空泵需24小時連續運轉以維持工藝腔室的穩定真空環境。傳統真空泵因腐蝕性氣體侵蝕、高溫油品劣化等問題，常導致突發性停機，引發設備宕機、晶圓報廢、產能損失等連鎖問題，嚴重時單次停機損失高達數十萬元。
產品特點
1. 全密封抗腐蝕設計
- IP55防護等級：軸承與電機采用全密封結構，抵御酸性/堿性工藝氣體（如Cl?、CF?）腐蝕，壽命提升3倍。
- 特種合金轉子：表面碳化鎢涂層，硬度達HV1500，抗顆粒磨損性能提升80%。
2. 智能預維護系統
- 多參數實時監測：內置傳感器實時采集油溫（±1℃精度）、振動（0.1mm/s分辨率）、油位數據，異常狀態提前48小時預警。
- 云端遠程診斷**：通過IoT模塊上傳運行數據至普旭運維平臺，自動生成維護建議，減少人工巡檢成本。
性能參數
指標
普旭油式真空泵
行業常規泵
MTBF（平均無故障時間）
≥20000小時
5000~8000小時
維護周期
6000小時/次
2000小時/次
振動值
＜2.8mm/s（ISO 10816-3）
＞5.0mm/s
耐腐蝕氣體濃度
≤1000ppm Cl?
≤300ppm Cl?
? 連續運行保障：某12英寸晶圓廠替換普旭泵后，年停機時間從120小時降至18小時，產能損失減少85%。
? 運維成本優化：潤滑油更換頻率從每月1次延長至每季度1次，年維護成本節省超￥50萬元。
? 工藝穩定性提升：真空壓力波動控制在±0.3%以內，晶圓關鍵尺寸（CD）均勻性提升0.5nm。
普旭油式真空泵通過全密封抗腐蝕設計與智能化預維護系統，徹底解決半導體制造中真空泵頻繁停機的行業難題，實現20000小時無故障運行的行業標桿性能。其高可靠性不僅保障了晶圓廠連續生產需求，更通過降低維護成本與工藝缺陷率，助力企業提升產能利用率與產品良率，成為高端半導體制造的真空系統。
