產品詳情
簡單可靠的氣體分析解決方案
在線氣體分析系統
內置四級質譜儀
應用廣泛的氣體分析測試專家
愛柯銳 BLD-02
四級質譜過程分析是對各類氣相分子能精確定性定量檢測的一種快速、靈敏和可靠的方法，可以快速解決客戶各種繁雜氣體分析測試的問題。
ACT的創新技術旨在大幅提高氣體過程檢測分析儀的易用性、性能和可靠性，使您高枕無憂，代表了我們持久專注氣體快速分析的技術的新成果。
氣體檢測從未如此簡單
愛柯銳質譜儀專為簡便易用和優化性能而設計，對于大多數常見應用（氣體的定性定量分析、氣體過程分析、泄漏檢測等），用戶可以根據自己的實際情況，配置連接方式、正確設置參數。
直觀的觸摸屏界面為操作人員、工藝工程師和維護技術人員提供便捷的操作菜單。
值得信賴的氣體分析轉件
愛柯銳提供完整的解決方案和技術支持，該解決方案擁有一年的標準質保期（提供兩年和三年質保的可選配置），并享有 全球服務、全球備件網絡以及各種訂制化服務合同的支持。
憑借卓越的使用維護成本、實際應用性能和易用性等優勢。
全新設置
靈活測真空系統配置
高靈敏度傳感器和智能操作的結合 ，使BLD-02成為您各類分析測試的完美解決方案
雙檢測模式
低壓檢測環境下，可直接對接真空法蘭，實現快速便捷的過程分析；高壓檢測環境下，可接入采樣管，匹配直接進樣和循環測量。
全新分析軟件
全新開發的操作軟件，更加易用可靠。所有測量結果均可保存上傳至 地方。新一代高效氣體分析解決方案，智能軟件，操作簡便，緊湊設計
質譜與工作站的有機統一
全新的 BLD-02 匹配有高性能的渦輪分子泵和隔膜泵 ，無油的 高真空環境為質譜的分析提供本底 ，所有組件全在一體，節省您寶貴的實驗室；
不同的測量軟件為您的氣體分析提供廣泛的測試解決方案； 普適性的測量程序，集成高科技組件；
集成電腦于設備上，實現分析軟件與控制系統的有機整合，匹配廣泛的應用！
廣泛的應用
ALL IN ONE 的氣體分析解決方案
成功的氣體分析解決方案很大程度上取決于應用條件。以下是幾種常見應用以及可獲得超高可靠性結果的理想配置解決方案示例。
特種氣體分析
- 藥瓶的泄漏分析
- 空調行業冷媒泄漏測試
- 特氣鋼瓶除雜
- 清洗工藝監控
- 真空法蘭對接低壓檢測需求
鋰電池漏液分析
- 單體電芯的漏液分析檢測
- 電池模組的漏液分析檢測，適配電芯產線的半自動檢測
- 電池包體內的電芯的漏液檢測內漏分析-電池包殼體的泄漏檢測
半導體過程分析
適配用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導體工藝的過程監控器。實現晶圓和面板保護以及工藝優化。
- 化學氣相反應;
- 腔體泄漏分析;
- 鑒別痕量污染物;
- 測量過程反應與本底的組分;
- 定性氣體純度
重新定義氣體的快速分析測試方案
實用、快速、便捷
通訊接口信息
多功能擴展接口
數據端口與聯用
8 模 擬 量 輸 出
8 模擬量 輸入 1 0 數字量輸 出
5 數 字量 輸 入
與其他儀器聯動，數據共享
網絡通訊
可外接獨立上位機系統
可獨立與質譜儀軟件通訊
規管連接
獨立的內部壓力管控
全量程數字規或者模擬規管，保護質譜儀不受壓力上升的影響
| I/O選項 | 模擬輸出 | 模擬輸入 | 數字輸出 | 數字輸入 |
| 數量 | 8 | 8 | 10 | 5 |
| 規格 | 0-10V | (-10-+10V) | Vout=24V | Vin=24V |
| 分辨率 | 16 bit | 16 bit | － | － |
| 應用程序示例 |
測量值； 例：離子電流 濃度比； 數據傳輸到更高等級的系統。 |
讀取外部參數； 例：壓力、溫度、流速 |
閥門驅動； 自由切換量程 |
啟動或停止測量任務的方式外部信號 |
技術參數
| 真空系統 | HiPace 80 | |||||||
 渦輪分子泵
|
60-80 l/s | |||||||
|
前級泵 |
1 m3/h | |||||||
| 輔助泵 | 3 m3/h（可定制大抽速泵） | |||||||
| 低真空計 | 復合全量程真空計 | |||||||
|
入口真空計 |
皮拉尼 |
|||||||
|
可測試氣體 |
|
|||||||
|
測量范圍 |
from 1 to 100amu (200/300可選) |
|||||||
|
進樣系統
|
真空法蘭，進樣管等 | |||||||
|
真空法蘭 |
KF25 |
|||||||
|
|
可配置入口腔體和對接波紋管 |
|||||||
|
常壓法蘭 |
1/16卡套，石英管，peek，不銹鋼管等 |
|||||||
|
輔熱（選配） |
200/350℃輔熱 |
|||||||
|
|
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
||
|
檢測器 |
Faraday (F) |
C-SEM/Faraday (M) |
||||||
|
質量范圍 |
1– 100 u |
1– 200 u |
1– 300 u |
1– 100 u |
1– 200 u |
1– 300 u |
||
|
四極桿 直徑/長度 |
6 mm / 125 mm |
|||||||
|
最小可檢測分壓, Faraday3) |
4 · 10- 13 hPa |
5 · 10- 13 hPa |
7 · 10- 13 hPa |
|
|
|
||
|
最小可檢測分壓, C-SEM3)4) |
– |
– |
– |
3 · 10- 15 hPa |
4 · 10- 15 hPa |
5 · 10- 15 hPa |
||
|
Ar 靈敏度, Faraday5) |
5 · 10-4 A/hPa |
4 · 10-4 A/hPa |
3 · 10-4 A/hPa |
5 · 10-4 A/hPa |
4 · 10-4 A/hPa |
3 · 10-4 A/hPa |
||
|
最大操作壓力, Faraday operation |
5 · 10-4 hPa |
|||||||
|
最大操作壓力, C-SEM operation |
– |
– |
– |
5 · 10-5 hPa |
5 · 10-5 hPa |
5 · 10-5 hPa |
||
|
相鄰質量干擾 (40/41) |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
||
|
最大工作溫度, 分析單元 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | |||||||
|
工作溫度, electronics |
5 – 50 °C |
|||||||
|
烘烤溫度, analyzer |
300 °C |
|||||||
|
對接法蘭 |
DN 40 CF-F |
|||||||
|
分辨率在10 %峰高處 |
0.5 – 2.5 u |
|||||||
|
掃描速度 |
1 ms – 16 s/u |
|||||||
|
峰值比重現性 |
± 0.5 % |
|||||||
|
通訊接口 |
Ethernet |
|||||||
|
供電 |
100–240 V AC, 50/60 Hz |
|||||||
|
|
||||||||
|
BLD-02 |
||||||||
|
全重 |
60 - 120 kg |
|||||||
|
尺寸 |
950*408*1200mm（L*W*H） |
|||||||
應用咨詢和服務
應用咨詢
ACT應用工程師將分析您的應用并就如何優化氣體分析測試給出建議
服務和支持選項
ACT擁有由專業服務人員組成的全球網絡資源以及各種支持選項
– 實現您的需求
– 提高工作效率
– 確保您的儀器完全滿足各種復雜的應用
完 整 的 氣 體 分 析測 試 解 決 方 案
ACT 真 空 代 表 全 球 創 新 和 定 制 的 氣體分析測 試 解 決 方 案 ， 技 術 完 美 ， 合 理 的 建 議 和 可 靠 的 服 務
氣 體 分 析 產 品 全 覆 蓋
我 們 擁 有 從 質 譜 色 譜 到 光 譜 的 所 有 產 品 和 解 決 方 案 ， 解決您多重復雜氣體和復雜環境中的氣體分析，匹配于廣泛的氣體分析測試應用環節。
理 論 和 實 踐 能 力
受 益 于 我 們的 專 業 知 識 和 我 們 的 培 訓 ！ 我 們 支 持 您 的 氣 提 分 析 ， 并 為 您 提 供 一 流 的 現 場 服 務。
