產品詳情
RGA 殘余氣體分析儀
-分子束外延 MBE
-物理氣相沉積 PVD
-化學氣相沉積 CVD
-原子層沉積 ALD
-鑒別痕跡污染物 Identification of trace contaminants
-材料滲透率測試 Material pereability test
愛柯銳（ACT）公司一直致力于質譜研發與市場應用，公司研發團隊來自于高校、研究所和真空行業，具有十年以上的研發經驗。PGT系列是由專業團隊自主研發的國產RGA。憑借對質譜研發的深入和獨特的產品設計以及完善的服務體系，為不同領域的客戶提供完整的應用解決方案。ACT已成為國內多家院校和半導體企業的優質合作伙伴，并且擁有穩定可靠的供應商體系，儀器在兼具高質量的應用中具性價比，是廣大用戶的理想選擇產品。
|
技術參數 |
||||
|
型號 |
PGT100F |
PGT100M |
PGT200F |
PGT200M |
|
傳感器長度 |
14.4cm |
19.6cm |
14.4cm |
19.6cm |
|
質量數范圍 |
100amu |
100amu |
200amu |
200amu |
|
分辨率（1） |
<1amu |
<1amu |
<1amu |
<1amu |
|
燈絲類型選項 |
涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
雙涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
|
檢測器類型 |
FC |
EM |
FC |
EM |
|
靈敏度（FC） |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
|
靈敏度（EM） |
- |
3.8A/Pa |
- |
3.8A/Pa |
|
最小可檢測分壓（2） |
3.5E-10Pa |
2E-12Pa |
3.5E-10Pa |
2E-12Pa |
|
最大傳感器工作溫度（FC） |
200℃ |
N/A |
200℃ |
- |
|
最大傳感器工作溫度（EM） |
- |
150℃ |
- |
150℃ |
|
溫度系數（3） |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
|
最大烘烤溫度 |
300℃ |
300℃ |
300℃ |
300℃ |
|
最大數據速率/點 |
2ms |
2ms |
2ms |
2ms |
|
最大工作壓強 |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
|
電源輸入 |
24V（DC） |
24V（DC） |
24V（DC） |
24V（DC） |
|
（1）在10%峰高處 （2）駐留時間為256ms情況下 （3）在8h的時間段內，半小時預熱后，僅FC模式 |
||||
|
尺寸 |
||||
|
|
||||
